層疊型壓電陶瓷及其制造方法、壓電元件和(hé)壓電振動裝置與流程

層疊型壓電陶瓷及其制造方法、壓電元件和(hé)壓電振動裝置與流程

背景技術：

關于壓電陶瓷，利用(yòng)由壓電陶瓷形成的(de)壓電元件通(tōng)過機械性位移而産生電荷、或者通(tōng)過電極間的(de)電位差而産生機械性位移的(de)性質，被廣泛地用(yòng)于傳感器、緻動器等中。

作爲構成壓電元件的(de)壓電陶瓷的(de)組成，廣泛使用(yòng)钛酸锆酸鉛(pb(zr,ti)o3、pzt)及其固溶體。pzt類的(de)壓電陶瓷具有以下(xià)優點：由于具有較高(gāo)的(de)居裏溫度，因此即使在高(gāo)溫環境下(xià)也(yě)能夠使用(yòng)，并且由于具有較高(gāo)的(de)機電耦合系數，因此能夠對(duì)電能與機械能高(gāo)效地進行轉換。另外，通(tōng)過選擇适當的(de)組成，能夠以低于1000℃的(de)溫度進行燒制，因此具有能夠降低壓電元件的(de)制造成本的(de)優點。尤其是，在層疊型壓電陶瓷中，與壓電陶瓷同時(shí)燒制的(de)内部電極中能夠使用(yòng)減少了(le)鉑或钯等高(gāo)價格材料的(de)含量的(de)低熔點材料，産生大(dà)幅降低成本的(de)效果。但是，pzt類的(de)壓電陶瓷含有作爲有害物(wù)質的(de)鉛，這(zhè)被視爲問題，希望使用(yòng)不含鉛的(de)壓電陶瓷代替pzt類的(de)壓電陶瓷。

至今爲止，作爲不含鉛的(de)壓電陶瓷的(de)組成，公開有堿金屬铌酸鹽((li,na,k)nbo3)類、钛酸铋鈉((bi0.5na0.5)tio3、bnt)類、铋層狀化(huà)合物(wù)類和(hé)鎢青銅類等各種壓電陶瓷。其中，堿金屬铌酸鹽類的(de)壓電陶瓷由于其居裏溫度高(gāo)，機電耦合系數比較大(dà)，因此作爲代替pzt類的(de)壓電陶瓷而受到關注.

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