描述：機電薄膜e31測試儀 aix4PB
(Electromechanical thin film e31 analyzer )

薄膜材料的(de)機電性能是MEMS器件設計的(de)關鍵性能，縱向壓電系數d33和(hé)橫向壓電系數e31被用(yòng)于表征傳感器和(hé)執行器的(de)這(zhè)些關鍵性能。
縱向壓電系數可(kě)由aixDBLI測試，而橫向壓電系數e31就可(kě)用(yòng)aix4PB系統測試。
通(tōng)過必要夾具，可(kě)以測得(de)正向e31和(hé)逆向e31。

機電薄膜e31測試儀 aix4PB
(Electromechanical thin film e31 analyzer )

薄膜材料的(de)機電性能是MEMS器件設計的(de)關鍵性能，縱向壓電系數d33和(hé)橫向壓電系數e31被用(yòng)于表征傳感器和(hé)執行器的(de)這(zhè)些關鍵性能。
縱向壓電系數可(kě)由aixDBLI測試，而橫向壓電系數e31就可(kě)用(yòng)aix4PB系統測試。
通(tōng)過必要夾具，可(kě)以測得(de)正向e31和(hé)逆向e31。

标準的(de)aix4PB系統主要由以下(xià)部分(fēn)組成：四點彎曲樣品夾具、TF Analyzer 2000、單光(guāng)束激光(guāng)測振儀。
可(kě)以進行如下(xià)測試功能：
全部鐵電性能表征，基于TF2000系統，包括極化(huà)、電容、漏電流、疲勞測試。
有效橫向壓電系數的(de)測量通(tōng)過交替均勻機械力施加于樣品，并測試的(de)電荷。
所有的(de)測量數據也(yě)可(kě)以在附加的(de)壓縮或拉伸靜态負載下(xià)進行，這(zhè)也(yě)覆蓋了(le)整個(gè)壓電薄膜在整個(gè)MEMS器件中的(de)行程。

特點/規格：
四點彎曲樣品夾具：
産生力的(de)壓電執行器
激光(guāng)測振儀夾具
很容易接觸到頂部和(hé)底部的(de)樣品電極
所有的(de)TF2000系統的(de)測試功能 
遠(yuǎn)程接入和(hé)腳本控制的(de)可(kě)選件
單光(guāng)束激光(guāng)幹涉儀，最小分(fēn)辨率1nm

軟件：
Windows 7 操作系統
通(tōng)過GPIB或以太網的(de)遠(yuǎn)程接入和(hé)腳本控制
通(tōng)過ODBC接口的(de)數據庫連接
測試數據通(tōng)過ASCII形式輸出
測試數據交換通(tōng)過aixPlorer軟件或Resonance Analyzer