描述：雙光(guāng)束激光(guāng)幹涉儀專門用(yòng)于壓電薄膜的(de)蝴蝶曲線和(hé)縱向壓電系數d33的(de)測試。
這(zhè)一台适合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的(de)雙光(guāng)束激光(guāng)幹涉儀。
半自動的(de)系統用(yòng)于8“晶圓上的(de)MEMS器件的(de)壓電性和(hé)電性相關性能的(de)測試。
大(dà)量樣品測試的(de)重複精度可(kě)達2%以上。

雙光(guāng)束激光(guāng)幹涉儀 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)

雙光(guāng)束激光(guāng)幹涉儀專門用(yòng)于壓電薄膜的(de)蝴蝶曲線和(hé)縱向壓電系數d33的(de)測試。
這(zhè)一台适合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的(de)雙光(guāng)束激光(guāng)幹涉儀。
半自動的(de)系統用(yòng)于8"晶圓上的(de)MEMS器件的(de)壓電性和(hé)電性相關性能的(de)測試。
大(dà)量樣品測試的(de)重複精度可(kě)達2%以上。

測試功能：
機電大(dà)信号應變、極化(huà)、壓電系數、小信号介電常數。
疲勞和(hé)電性及機械性能可(kě)靠性。

樣品測試：
極化(huà)曲線和(hé)位移曲線。
小信号電容及壓電系數。

技術參數：
分(fēn)辨率： ≤1 pm（X晶向的(de)石英）
測量範圍：5pm- +/- 25nm
波長(cháng)：632.8nm
位移/應力測試：>50Hz，最小1Hz分(fēn)辨率，100mV到10V（可(kě)選到200V）
壓電d33系數：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可(kě)選到200V
  小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V測試：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可(kě)選到200V
小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）