描述：HET-1T多(duō)功能高(gāo)精度二維材料顯微轉移系統

關鍵詞：二維材料，幹法，濕法，範德華

适用(yòng)于石墨烯，硫化(huà)钼，黑(hēi)磷等單層材料精确定點轉移，以及多(duō)層範德華異質結的(de)制備。
由于在制備多(duō)層異質結結構的(de)二維半導體材料晶體管的(de)過程中，需要将一層二維材料轉移到另一層二維材料上。在常規的(de)大(dà)氣環境中進行轉移操作時(shí)，難免會遇到轉移後兩層材料中含有少量氣泡的(de)問題；并且，某些二維材料會受到空氣中水(shuǐ)和(hé)氧的(de)影(yǐng)響，使得(de)材料

HET-1T多(duō)功能高(gāo)精度二維材料顯微轉移系統

關鍵詞：二維材料，幹法，濕法，範德華 

适用(yòng)于石墨烯，硫化(huà)钼，黑(hēi)磷等單層材料精确定點轉移，以及多(duō)層範德華異質結的(de)制備。
由于在制備多(duō)層異質結結構的(de)二維半導體材料晶體管的(de)過程中，需要将一層二維材料轉移到另一層二維材料上。在常規的(de)大(dà)氣環境中進行轉移操作時(shí)，難免會遇到轉移後兩層材料中含有少量氣泡的(de)問題；并且，某些二維材料會受到空氣中水(shuǐ)和(hé)氧的(de)影(yǐng)響，使得(de)材料本身的(de)性能下(xià)降。兩者使得(de)器件性能大(dà)大(dà)下(xià)降。

1. 顯微轉移操作平台：

a. 四軸可(kě)調襯底載物(wù)平台： XY方向行程 20mm，轉移對(duì)位操作精度2μm；繞z 軸手動調節旋轉最大(dà)±90°，測微器精細調節，行程5°，調節精度0.5°左右； 繞x軸和(hé)y 軸傾斜台，調節方式手動轉輪，台面厚度20mm，傾斜角度±2°。

b. 襯底載物(wù)平台加熱(rè)系統：樣品台加熱(rè)最高(gāo)溫度爲240 ℃，使用(yòng) PID 溫度控制器，溫度控制穩定性小于±1℃（穩定性≦±0.1℃），帶加熱(rè)開關。

c. 四軸可(kě)調載玻片移動平台：載玻片 XYZ三軸可(kě)調，80mm高(gāo)穩定性台面，行程25mm，測微絲杆控制；Z軸爲29mm直徑百刻線微分(fēn)頭，便于精細升降操作；樣品送入手動旋轉台，台面直徑100mm，粗調旋轉範圍360°，細調旋轉範圍±5°，定位精度1~ 2°；

d. 支持真空自動吸附樣品，确保轉移過程中目标樣品位置精确固定；真空泵電磁閥控制，按鈕控制是否吸附樣品；真空泵：25L-35L/min 流量；

e．雙邊載玻片夾具：輔助夾具片2片，夾具片75*25*1.5mm；

f．集成控制機箱：集成機櫃包括電源、顯微鏡LED控制、溫度控制、真空開關控制，工作電壓220V，最大(dà)輸出功率800W；

2. 顯微成像光(guāng)路系統：

a.  單筒顯微鏡：變倍比1:6.5，變倍範圍0.7X-4.5X，标準工作距離90mm，分(fēn)辨率63-180lp/mm，95mm超長(cháng)工作距離20倍物(wù)鏡，綜合最大(dà)放大(dà)倍率850~900倍；雙固定位設計，高(gāo)倍放大(dà)下(xià)圖像無明(míng)顯抖動。

b. 白色LED照(zhào)明(míng)：同軸照(zhào)明(míng)系統，選用(yòng)高(gāo)亮度單顆1W LED，色溫5500K，照(zhào)明(míng)均勻；LED照(zhào)明(míng)控制器90V-250V寬電壓,1W LED控制器，可(kě)調光(guāng)；

c. 顯微相機：1920x1080高(gāo)靈敏度CMOS傳感器，30fps速度保存；支持HDMI相機直接輸出到顯示器；曝光(guāng)時(shí)間0.4ms~999ms，自動白平衡；支持WIFI數據傳輸；提供顯微相機操作軟件，支持電腦(nǎo)控制，可(kě)軟件測量顯微樣品尺寸及角度；工作溫度-10~ 50攝氏度。

d. 顯微觀察支架：一體式高(gāo)穩定性支架，長(cháng)寬高(gāo)240mm*100mm* 100mm，重量20kg，支持沿 xy方向 50mm行程，可(kě)大(dà)範圍調節顯微鏡觀察位置；

e. 顯示器：24英寸1920*1200全高(gāo)清專業顯示器。