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2024-08-27訪問量
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品牌 | Microtrac/拜爾 | 産地類别 | 國産 |
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應用(yòng)領域 | 電子,冶金,航天,電氣 |
HTR-01 桌式4英寸快(kuài)速退火爐
HTR-01A快(kuài)速退火爐系列采用(yòng)紅外輻射加熱(rè)技術,可(kě)實現1-10片樣品同時(shí)進行,可(kě)實現4寸晶圓片吋樣品快(kuài)速升溫和(hé)降溫,同時(shí)搭配超高(gāo)精度溫度控制系統,可(kě)達到的(de)溫場(chǎng)均勻性,對(duì)材料的(de)快(kuài)速熱(rè)處理(lǐ)(RTP)、快(kuài)速退火(RTA)、快(kuài)速熱(rè)氮化(huà)(RTN)、快(kuài)速熱(rè)氧化(huà)(RTO)及金屬合金化(huà)等研究和(hé)生産起到重要作用(yòng)。
主要應用(yòng)領域:
産品特點
● 快(kuài)速加熱(rè)和(hé)降溫: 最高(gāo)可(kě)控升溫速率可(kě)達50 ℃/s,特定條件下(xià)可(kě)以達到100 ℃/s。冷(lěng)壁水(shuǐ)冷(lěng)設計能夠達到較大(dà)的(de)降溫速率,特定條件下(xià)可(kě)達30 ℃/s。
● 精确控溫: 采用(yòng)工業級溫控器進行PID精确控溫,目标溫度與設定溫度曲線一緻性高(gāo),可(kě)實現室溫至1200 ℃的(de)溫度精确控制。
● 适應多(duō)種工藝環境: 滿足多(duō)種工藝氣氛下(xià)的(de)熱(rè)處理(lǐ)(氮氣、氩氣等)。同時(shí),通(tōng)過選配真空泵,可(kě)以在真空條件下(xià)進行退火,最高(gāo)真空度可(kě)達10-5Pa。
● 配備觀察窗(chuāng)口: 通(tōng)過觀察窗(chuāng)口,可(kě)以實時(shí)觀察熱(rè)處理(lǐ)過程中的(de)樣品變化(huà)。同時(shí),可(kě)以結合相關測試方法進行原位測試分(fēn)析。
● 超高(gāo)安全系數: 采用(yòng)爐壁超溫報警系統和(hé)冷(lěng)卻水(shuǐ)流量報警系統,保障儀器使用(yòng)安全。
● 售後服務:,能快(kuài)速反應客戶售後需求。
最大(dà)樣品尺寸 | 4英寸(直徑20mm) |
控溫範圍 | RT~1200℃ |
升溫速率(max) | 50℃/s |
高(gāo)溫段降溫速率(max) | 600℃/min |
溫度均勻性 | ≦1% |
控溫精度 | ±0.1℃ |
氣體流量 | 标配1路,可(kě)擴展至多(duō)路 |
放樣管徑 | Ф210mm*320mm |
放樣數量 | 4-10個(gè) |
真空度 | 真空度可(kě)以達到10-5 |
控制方式 | 支持真空、氧化(huà)、還(hái)原、惰性氣體等工藝氣氛,也(yě)可(kě)設置通(tōng)過軟件控制真空及通(tōng)氣時(shí)間 |