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詳細介紹
| 品牌 | 其他(tā)品牌 | 産地類别 | 國産 |
|---|---|---|---|
| 應用(yòng)領域 | 能源,電子,汽車,電氣,綜合 |
JKZC-DCHH系列高(gāo)低溫真空探針台
産品概要
JKZC-DCHH系列高(gāo)低溫真空探針台是我司自主研發的(de)一款在環境下(xià)給樣品加載電學信号的(de)設備。可(kě)以實現 器件及材料表征的(de)IV/CV特性測試，射頻(pín)測試，光(guāng)電測試等。通(tōng)過液氮或者壓縮機制冷(lěng)，可(kě)以在防輻射屏内營造一個(gè)穩定的(de)測試環境。在特殊材料，半導體器件等研究方向具有廣泛運用(yòng)。
極低溫測試:因爲晶圓在低溫大(dà)氣環境測試時(shí)，空氣中的(de)水(shuǐ)汽會凝結在晶圓上，會導緻漏電過大(dà)或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這(zhè)些需要把真空腔内的(de)水(shuǐ)汽在測試前用(yòng)泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程 泵的(de)運轉。
高(gāo)溫無氧化(huà)測試:當晶圓加熱(rè)至300°C,400°C,500°C甚至更高(gāo)溫度時(shí)，氧化(huà)現象會越來(lái)越明(míng)顯，并且溫度越 高(gāo)氧化(huà)越嚴重。過度氧化(huà)會導緻晶圓電性誤差，物(wù)理(lǐ)和(hé)機械形變。避免這(zhè)些需要把真空腔内的(de)氧氣在測試前用(yòng)泵抽走,并且保持整個(gè)測試過程泵的(de)運轉。
技術特點
-防輻射屏和(hé)熱(rè)沉設計；
•降溫速度快(kuài)，常溫降至77k<25mins,大(dà)大(dà)提高(gāo)測試效率；
•液氮自動控制系統，液氮流量模塊和(hé)溫度控制模塊一起聯動共同控制溫度。
詳細參數
産品類型 | 低溫開循環 | 低溫閉循環 | |
主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | |
型号 | JKZC-JKZC-DCHH-196k | JKZC-JKZC-DCHH4k | |
外形 | 850*850*600mm | 900*850*600mm | |
重・ | 約100kg | 約150kg | |
電力需求 | AC220V,50〜60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸，帶4英寸高(gāo)紅外透射率觀察窗(chuāng) | |
樣品台尺寸 | 2英寸/4英寸（鍍金） | 2英寸（鍍金） | |
樣品固定方式 | 真空導熱(rè)矽脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10A-5pa最高(gāo)真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光(guāng)纖接口，冷(lěng)源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和(hé)熱(rè)沉設計 | ||
溫控系統 | 制冷(lěng)方式 | 液氮 | 壓縮機 |
溫控範圍 | 77K-473K （973k可(kě)選） | 4.2K~450K | |
溫控精度和(hé)穩定性 | 土 0丄度/±0丄度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優于25mins | 常溫降到：10k優于180mins | |
控制方式 | 液氮自動流量控制 | 壓縮機控制 | |
光(guāng)學系統 | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻(pín)顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統 | 體式/單筒顯微鏡+CCD成像系統 |
倍率範圍 | 16X~200X/40X~280X/20X 〜2000X | 16X-200X/40X-280X | |
移動範圍 | 水(shuǐ)平360度旋轉，Z軸50.8mm調焦，帶萬向支架 | ||
真空腔觀察窗(chuāng)尺寸 | 4inch | 4inch | |
CCD像素 | 2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍(pāi)照(zhào)/錄像/測量功能等功能 | ||
探針臂 | 探針臂數・ | 最多(duō)6個(gè) | |
X¥Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 同軸夾具10pA/三軸夾具100 fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光(guāng)纖接口 | ||
頻(pín)率範圍 | JKZC-DCH-67G | ||
探針 | 探針直接 | lum~100um 可(kě)選 | |
材質 | 磚鋼，披銅 | ||
真空系統 | 機械泵/分(fēn)子泵組/離子泵 | ||
可(kě)選附件 | 防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等 | ||
應用(yòng)方向 | 高(gāo)低溫真空環境下(xià)的(de)芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等 | ||
搭配産品/半導體參數分(fēn)析儀
我們經過近10年的(de)發展,在測試儀器與探針台的(de)搭配方面具備十分(fēn) 豐富的(de)經驗。半導體參數分(fēn)析儀方面，我們和(hé)是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的(de)半導體參數分(fēn)析儀有過多(duō)次搭配經驗，系列型号有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并爲用(yòng)戶提供半導體參數分(fēn)析 儀與探針台集成測試方案和(hé)服務。
搭配産品/矢量網絡分(fēn)析儀
依靠與儀器設備廠商和(hé)設備集成經銷商所保持良好的(de)合作關系，我司可(kě)爲用(yòng)戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的(de)網絡分(fēn)析儀和(hé)模塊，有Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E等,各系列型号的(de)矢量網絡 分(fēn)析儀和(hé)毫米波網絡分(fēn)析儀，涵蓋不同測量頻(pín)率範圍、性能和(hé)功能，并 爲用(yòng)戶提供網絡分(fēn)析儀與探針台集成測試方案和(hé)服務,具備豐富的(de)測 試經驗。
搭配産品/其他(tā)類型源表
在其它類型源表方面，比如tek2450,tek2600,keysight2900,普賽斯S300,鐵電分(fēn)析儀，各類示波器，各類電源，頻(pín)譜儀等等都有多(duō)年的(de)搭配經驗。
産品咨詢
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