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2024-08-27訪問量
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品牌 | Microtrac/拜爾 | 應用(yòng)領域 | 電子,交通(tōng),航天,汽車,電氣 |
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SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀
SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀是運用(yòng)直線或方形四探針雙位測-改進形範德堡測量方法測試電阻率/方阻的(de)多(duō)用(yòng)途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶矽物(wù)理(lǐ)測試方法國家标準并參考美(měi)國 A.S.T.M 标準。利用(yòng)電流探針、電壓探針的(de)變換,進行兩次電測量,對(duì)數據進行雙電測分(fēn)析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和(hé)機械遊移等因素對(duì)測量結果的(de)影(yǐng)響,它與單電測直線或方形四探針相比,大(dà)大(dà)提高(gāo)正确度,特别是适用(yòng)于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的(de)測試。儀器适用(yòng)于半導體材料廠器件廠、科研單位、高(gāo)等院校對(duì)導體、半導體、類半導體材料的(de)導電性能的(de)測試,特别是适用(yòng)于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的(de)測試。
一、主要特點:
1、根據不同材料特性需要,探頭可(kě)有多(duō)款選配。有高(gāo)耐磨碳化(huà)鎢探針探頭,以測試矽類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的(de)電阻率/方阻;
2、也(yě)有球形鍍金銅合金探針探頭,可(kě)測柔性材料導電薄膜、金屬塗層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米塗層等半導體材料的(de)電阻率/方阻。
3、換上四端子測試夾具,還(hái)可(kě)對(duì)電阻器體電阻、金屬導體的(de)低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。
4、由主機、選配的(de)四探針探頭、測試台以及PC軟件等部分(fēn)組成。
二、基本技術參數
3.1 測量範圍
電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分(fēn)辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm
方 阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分(fēn)辨率:5×10-5~1×102 Ω/□
電 阻:1×10-5~2×105 Ω ,分(fēn)辨率:1×10-6~1×102 Ω
3.2 材料尺寸(由選配測試台決定和(hé)測試方式決定)
直 徑:圓測試台直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
SZT-B/C/F方測試台直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.
長(cháng)(高(gāo))度:測試台直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可(kě)
3.3. 4-1/2 位數字電壓表:
(1)量程: 20.00mV~2000mV
(2)誤差:±0.1%讀數±2 字
3.4 數控恒流源
(1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA,1A
(2)誤差:±0.1%讀數±2 字
3.5 四探針探頭(選配其一或加配全部)
(1)碳化(huà)鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可(kě)調
(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可(kě)調
3.6 電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
3.7 外形尺寸:
主機 220mm(長(cháng))×245 mm(寬)×100mm(高(gāo))