描述：非标探針台/微型探針台/倒裝手動測試夾具/光(guāng)電流測試顯微鏡/TEC制冷(lěng)卡盤/磁場(chǎng)探針台(無磁設計)/110g以上高(gāo)頻(pín)測試探針台/自動測試系統/可(kě)升降平台/高(gāo)精度納米探針座/毫米級手持式探針夾具/毫米級手持式探針夾具/FA失效分(fēn)析探針台

非标探針台

I (1)微型探針台

•整機外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10 kg；

•雙探針座平台鍍镖設計，提高(gāo)了(le)針座平台和(hé)針座之間的(de)吸附力；

• ChJKZC-UCk XY微分(fēn)頭設計，行程25mm*25mm,精度2um；

• ChJKZC-UCk大(dà)小：2英寸，中心吸附孔和(hé)多(duō)圈吸附環固定樣品,均獨立控制；

•卡盤電學獨立懸空，帶4mm香蕉頭插口,可(kě)以作爲背電極使用(yòng)；

-台體底闆帶高(gāo)性能防震海綿，可(kě)一定程度減小外界震動對(duì)測試的(de)幹擾;

•整機人(rén)體工程學設計，操作簡單，使用(yòng)便捷。

| (2)倒裝手動測試夾具

-可(kě)給樣品加載DC或者RF信号；

•樣品可(kě)在0~180度任意角度内進行旋轉并固定；

-具備微調功能，精度0.1度；

•玻璃樣品載台，高(gāo)透光(guāng)性；

•可(kě)無磁化(huà)設計，在光(guāng)學,電磁等環境中運用(yòng)較爲廣。

| (3)光(guāng)電流測試顯微鏡

-可(kě)在原有光(guāng)路基礎上可(kě)以導入另一路光(guāng)源，用(yòng)于輻照(zhào)樣品以測試樣品在特定波長(cháng)及能量下(xià)電學性能；

-顯微鏡設計爲雙光(guāng)路或3光(guāng)路，其中一路爲導入光(guāng)通(tōng)路，另一到兩路爲成像光(guāng)路導入光(guāng)爲平行的(de)激光(guāng)或其它線性光(guāng)源 ,波長(cháng)範圍200nm~20000nm,中間可(kě)加入多(duō)個(gè)波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調節。光(guāng)斑輻照(zhào)直徑有650nm紅光(guāng) 指示。所有模塊均可(kě)拉出設計，對(duì)導入光(guāng)性質無影(yǐng)響；

-導入光(guāng)光(guāng)路可(kě)選擇光(guāng)時(shí)間開關,精确控制導入光(guāng)的(de)輻照(zhào)時(shí)間，精度1ms,範圍2ms~oo,在控制界面上可(kě)對(duì)各種參數進 行詳細設置，成像光(guāng)路爲同軸照(zhào)明(míng)金相成像，其中一路爲1倍成像，可(kě)選擇第2路成像，爲物(wù)鏡的(de)0.25-10倍率，通(tōng)常在高(gāo) 低溫測試系統裏會用(yòng)到，同一個(gè)物(wù)鏡不切換，得(de)到兩個(gè)不同視野的(de)成像。

（4）TEC制冷(lěng)卡盤

•釆用(yòng)TEC制冷(lěng)，無需液氮，使用(yòng)方便；

可(kě)給樣品提供不同溫度環境；

-樣品台大(dà)小可(kě)選，防幹擾設計，具備良好的(de)接地性能;

•溫度範圍:負45°C~150°C,溫度分(fēn)辨率：0.1°C,

溫度穩定性：土 0.3°C；

•樣品台微調升降，行程0-10mm,精度10um.

 (5)磁場(chǎng)探針台(無磁設計)

•在探針台的(de)基礎上，可(kě)加載三維磁場(chǎng)，多(duō)維磁場(chǎng)，磁場(chǎng)強度，精度和(hé)間隙均可(kě)調整;

-高(gāo)剛性結構，所有零配件均采用(yòng)無磁化(huà)材料；

-可(kě)加載高(gāo)低溫，可(kě)同時(shí)進行DC和(hé)RF測試；

可(kě)以旋轉，科客制化(huà)。

|⑹110g以上高(gāo)頻(pín)測試探針台

-可(kě)配合市場(chǎng)主流擴頻(pín)模塊進行超高(gāo)頻(pín)測試；

•大(dà)行程高(gāo)精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制；

-顯微鏡可(kě)以在2英寸*2英寸*2英寸範圍内移動,擴大(dà)了(le)顯微鏡視場(chǎng)；

-兼容直流與高(gāo)頻(pín)信号；

-可(kě)以定制,可(kě)升級性強；

-最大(dà)可(kě)以測試12英寸樣品,探針台chJKZC-UCk具備升降功能，便于樣品和(hé) 探針的(de)快(kuài)速分(fēn)離。

(7)自動測試系統

-自動探針測試系統，可(kě)以與半參，網分(fēn)聯動；

-電動二維平台，可(kě)手動和(hé)電動操作；

• ChJKZC-UCk XY軸運動行程100*100mm,複定位精度＜±lum；

• X-Y軸驅動:電機+絲杆+光(guāng)栅尺；

-探針/光(guāng)纖探針XYZ軸電動模塊30*30*30mm,複定位精度W ±lum；

-X-Y-Z軸驅動:電機+絲杆+光(guāng)栅尺。

| (8)可(kě)升降平台

産品型号：T-station

産品參數：

-尺寸和(hé)重量定制；

-單個(gè)探針座平台最多(duō)可(kě)同時(shí)放置3個(gè)探針座；

-探針座平台表面鍍镖，增大(dà)與探針座之間的(de)吸附力;

-隐匿螺紋固定于标準蜂窩闆，美(měi)觀，并且方便拆卸；

-平台可(kě)升降，升降高(gāo)度和(hé)精度可(kě)定制；

-可(kě)配合光(guāng)電流顯微鏡使用(yòng)。

| (9)高(gāo)精度納米探針座

産品型号：JKZC-DCH-20nm

産品參數：

-X軸分(fēn)辨率：20nm,行程30um (旋鈕控制盒)；

-YZ軸分(fēn)辨率：10um,行程+-6.5mm；

-釆用(yòng)高(gāo)精度壓電陶瓷設計，可(kě)以固定步距撥動樣品或者納米線。

(10)毫米級手持式探針夾具

産品型号：JKZC-DCH

産品參數

•整體尺寸:20*20*180mm;

-萬向調節旋鈕，方向可(kě)調，松緊可(kě)調；

磁吸底座，直徑20mm;

•兼容彈簧針和(hé)晶圓針；

-Cable接頭可(kě)定制三軸，同軸或者其它。

(11) FA失效分(fēn)析探針台

産品型号：FA

産品參數

•探針台系統可(kě)以選用(yòng)：4~12英寸JKZC-DN系列探針台。

•激光(guāng)系統可(kě)以選用(yòng)美(měi)國ESI三波段激光(guāng)器或者法國 quantel激光(guāng)器

•美(měi)國ESI (NEWWAVE)激光(guāng)器參數

鐳射波長(cháng)1064和(hé)532nm和(hé)355nm

輸出功率2.2mJ/pulse

擊打頻(pín)率lHz~50Hz

可(kě)加工的(de)材質:Copper/Gold/Poly Silicon/Alu minum/Silicon Dixoide等

最小加工尺寸1微米(使用(yòng)100X物(wù)鏡)

         最大(dà)加工尺寸40微米(使用(yòng)50X物(wù)鏡)