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2024-08-27訪問量
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詳細介紹
| 品牌 | ACE/美(měi)國 | 産地類别 | 國産 |
|---|---|---|---|
| 應用(yòng)領域 | 石油,地礦,能源,電子,交通(tōng) |
RTS-4A型全自動掃描四探針測試系統
關鍵詞：全自動四探針，2D,3D，多(duō)點掃描, 電阻率, 方塊電阻
可(kě)對(duì)樣品進行 49 點、81 點、中心 1 點、中心 10 點、中心半徑 5 點、中心邊緣 5 點、中心半徑邊緣 9 點、直徑掃描等測試；統計分(fēn)析測試數據生成 2D 和(hé) 3D 的(de) map 圖； 屏蔽測試，消除光(guāng)對(duì)樣品測試的(de)影(yǐng)響，保證測量的(de)準确性；真空吸附防止全自動測試過程中樣品移動對(duì)測試的(de)影(yǐng)響；
一體化(huà)嵌入式設計，觸控電腦(nǎo)屏幕操作，手指點點就可(kě)以完成操作
PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統是運用(yòng)四探針測量原理(lǐ)的(de)多(duō)用(yòng)途綜合全自動測量設備。該設備按照(zhào)單晶矽物(wù)理(lǐ)測試方法國家标準并參考美(měi)國 A.S.T.M 标準而設計的(de)，專用(yòng)于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的(de)專用(yòng)設備。通(tōng)過全自動測試系統，對(duì)晶圓片進行電阻率和(hé)方塊電阻分(fēn)布的(de)測量，繪制出等值線圖後，從而直接觀察到整個(gè)晶圓片的(de)電阻率或方塊電阻大(dà)小的(de)分(fēn)布。
PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統通(tōng)過采用(yòng)四探針雙位組合測量技術，将範德堡測量方法推廣應用(yòng)到直線四探針上。利用(yòng)電流探針和(hé)電壓探針的(de)組合變換，進行兩次電測量，其最後計算(suàn)結果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和(hé)機械遊移等因素所引起的(de)，對(duì)測量結果的(de)不利影(yǐng)響。因而在測試過程中，在滿足基本條件下(xià)可(kě)以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的(de)位置等因素。這(zhè)種動态地對(duì)以上不利因素的(de)自動修正，顯著降低了(le)其對(duì)測試結果的(de)影(yǐng)響，從而提高(gāo)了(le)測量結果的(de)準确度。
PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統擁有友好操作測試界面，通(tōng)過此測試程序輔助用(yòng)戶簡便地進行各項測試操作，把采集到的(de)測試數據進行數學分(fēn)析，然後把測試數據以Excel表格，2D、3D等數值圖直觀地記錄、顯示出來(lái)。方便用(yòng)戶對(duì)數據進行各種數據分(fēn)析，用(yòng)戶可(kě)對(duì)采集到的(de)數據在電腦(nǎo)中保存或者打印以備日後參考和(hé)查看，
産品應用(yòng)
● 半導體及太陽能電池(單晶矽、多(duō)晶矽、鈣钛礦)
● 液晶面闆(ITO/AZO)
● 功能材料(熱(rè)電材料、碳納米管、石墨烯、銀納米線、導電纖維布)
● 半導體工藝(金屬層/離子注入/擴散層)、非晶合金
主要技術指标 ：
測量範圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm； 方塊電阻：10-4～106 Ω/□； |
可(kě)測晶片尺寸 | 2 英寸～15 英寸；（太陽能電池片≤210mm*210mm） |
恒流源 | 電流量程分(fēn)爲 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六檔。 |
采樣電壓範圍 | 量程：000.00～199.99mV；（低阻擴展時(shí)，量程：00.000～19.999mV） 分(fēn)辨力：10μV；（低阻擴展時(shí)，分(fēn)辨力：1μV）輸入阻抗：＞1000MΩ；精度：±0.1%； |
四探針探頭基本指标 | 間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機械遊移率：≤0.3％； 探針：碳化(huà)鎢或高(gāo)速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
模拟電阻測量相對(duì) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.2％ |
整機測量最大(dà)相對(duì) | （用(yòng)矽标樣片:0.003-500Ω.cm 測試）≤±3%（23℃） |
重複性 | ≤±0.5% |
最小去邊距離 | 3mm |
自動測試選點方式 | 49 點、81 點、中心 1 點、中心 10 點、中心半徑 5 點、中心邊緣 5 點、中心半徑邊緣 9 點、直徑掃描。 |
測試數據處理(lǐ) | 以Excel格式文件表格記錄測試數據，并生成2D、3D的(de) map 圖。用(yòng)戶可(kě)對(duì)采集的(de)數據在 Excel 中進行進一步的(de)各種數據統計分(fēn)析。 |
屏蔽和(hé)吸附測試 | 對(duì)樣品進行屏蔽和(hé)真空吸附測試，消除光(guāng)和(hé)全自動測試過程中樣品移動對(duì)樣品測試的(de)影(yǐng)響，保證測量的(de)準确性。 |
外形尺寸 | 550mm×455mm×400mm（深×寬×高(gāo)） |
标準使用(yòng)環境 | 溫度：23±2℃； 相對(duì)濕度：≤65％；無高(gāo)頻(pín)幹擾； |
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