鐵電壓電分(fēn)析儀 TF Analyzer 1000 TF ANALYZER 1000是一款緊湊型鐵電壓電分(fēn)析儀，具備鐵電、壓電材料所有基本特性測試功能，可(kě)與激光(guāng)幹涉儀和(hé)SPM掃描探針顯微鏡等微位移傳感器聯用(yòng)，适用(yòng)于薄膜、厚膜和(hé)塊狀陶瓷及鐵電器件等分(fēn)析測試。

内存窗(chuāng)口信息是基于對(duì)器件*集成後進行模拟電滞回線測量後得(de)出的(de)。 應用(yòng)領域： 鐵電存儲器的(de)生産 生産過程中的(de)質量控制，以便不會影(yǐng)響到CMOS生産過程 在MHz的(de)操作速度下(xià)，單級電滞回線數據 優點： 生産過程的(de)工藝優化(huà) 在MHz範圍的(de)時(shí)間影(yǐng)響測試 适用(yòng)于2T-2C 設計和(hé)1T-1C設計

本設備主要用(yòng)來(lái)研究電子陶瓷材料的(de)遲豫性能，也(yě)就是介電體和(hé)鐵電材料的(de)極化(huà)和(hé)去極化(huà)電流的(de)，即施加電壓階躍後的(de)電流響應。該測試能将材料的(de)馳豫電流和(hé)漏電流分(fēn)開，并可(kě)記錄極化(huà)響應電流和(hé)去極化(huà)響應電流。 技術說明(míng)：

雙光(guāng)束激光(guāng)幹涉儀專門用(yòng)于壓電薄膜的(de)蝴蝶曲線和(hé)縱向壓電系數d33的(de)測試。 這(zhè)一台适合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的(de)雙光(guāng)束激光(guāng)幹涉儀。 半自動的(de)系統用(yòng)于8“晶圓上的(de)MEMS器件的(de)壓電性和(hé)電性相關性能的(de)測試。 大(dà)量樣品測試的(de)重複精度可(kě)達2%以上。

熱(rè)釋電性能測試儀 aixPYM (Pyroelectric Measurement) 本系統主要用(yòng)于薄膜及塊體材料變溫的(de)熱(rè)釋電性能測試。 薄膜材料變溫範圍：-196℃到+600℃； 塊體材料變溫範圍：室溫到200℃、室溫到600℃、室溫到800℃、-100℃到+600℃、-184℃到+315℃五種夾具可(kě)選。

熱(rè)激發極化(huà)電流測試儀 TSDC (Thermally Stimulated Depolarization Current Measurement) 本系統除了(le)可(kě)以測試材料的(de)鐵電、壓電、熱(rè)釋電性能外，還(hái)可(kě)以用(yòng)于測試材料的(de)熱(rè)激發極化(huà)電流TSDC (Thermally Stimulated Depolarization Current Measurement)。